【摘 要】
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以纳米量级的ZnO和Al2O3粉体为原料，通过湿式球磨得到了混合粉体，再经过模压成型与常压烧结工艺即可获得致密度超过95％的ZnO：Al陶瓷靶材，其电阻率可达10^-2Ω·cm数量级。高致
【机 构】
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桂林电子科技大学信息材料科学与工程系
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以纳米量级的ZnO和Al2O3粉体为原料，通过湿式球磨得到了混合粉体，再经过模压成型与常压烧结工艺即可获得致密度超过95％的ZnO：Al陶瓷靶材，其电阻率可达10^-2Ω·cm数量级。高致密度的原因在于纳米粉体具有大的比表面积和粒子数，烧结均匀，气孔较少。低电阻率在于Al^3＋对Zn^2＋替代产生的自由电子。同时对靶材中的黑点进行了分析，EDS显示其不仅存在N元素，而且Al含量与致密度比正常区域低，其原因与粉体颗粒的均匀性有关。
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