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介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统,通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验,以及测量结果不确定度的分析,验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性,在300μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99％,满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求。