利用微通道板极问耦合损失实现复合探测的空间束导栅型调制机制

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuangjun_1988
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从位置和能量复合分辨的角度出发,开展基于微通道束导栅型空问调制的复合探测技术研究:探究微通道光电倍增机构的电子束空间束导机理,构建适用于栅型薄膜空间调制的微通道束导机构;揭示相关电子光学参数对其空问光学传递特性影响关系;设计构建基于微通道束导栅型空间调制的复合探测原型器件并在真空测试系统中开展了性能对比实验,最终验证栅型结构在成像与探测动态范围方面具有明显优势。
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