【摘 要】
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<正> 本发明是三甲基铟分离与纯化的改进方法。三甲基铟在磷化铟及其固溶体的外延结构生长工艺中得到了应用,并用于硅外延层的合金配制。已知的三甲基铟分离方法是采用反应混
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<正> 本发明是三甲基铟分离与纯化的改进方法。三甲基铟在磷化铟及其固溶体的外延结构生长工艺中得到了应用,并用于硅外延层的合金配制。已知的三甲基铟分离方法是采用反应混合物的真空蒸馏法。此法的缺点是主产品的产率低,在65％以下,且杂质含量相当高,见表1。三甲基铟的分离与纯化方法在工艺实质和所得结果方面是最接近的,即三甲基铟的
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