【摘 要】
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设计了一种膜片上薄膜体声波谐振器（FBAR）结构的伽马辐照剂量计。采用FBAR替代传统伽马辐照检测元件来实现伽马辐照剂量检测的新方法,并提出FBAR呈阵列式分布的结构,可实现辐照
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
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设计了一种膜片上薄膜体声波谐振器（FBAR）结构的伽马辐照剂量计。采用FBAR替代传统伽马辐照检测元件来实现伽马辐照剂量检测的新方法,并提出FBAR呈阵列式分布的结构,可实现辐照剂量和分布的检测。为了对FBAR进行温度补偿,设计了由SiO2与Si3N4组成的双层复合薄膜,SiO2的温度系数为＋85×10-6/℃,与具有负温度系数的压电层进行复合,减小了温漂,同时增加了膜片的强度。给出了两种不同结构的阵列式伽马辐照剂量计详细的工艺路线;可望满足阵列式、高灵敏度、微小型化伽马辐照剂量检测的需求。
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