离子束增强沉积CrN镀层膜基结合强度的测定

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采用球滚接触疲劳法评定不同界面共混工艺所制CrN镀层膜基结合强度,并对试验结果进行分析对比。试验结果表明,在其它参数相同的条件下,随着氨离子轰击能量从10keV、20keV提高到40keV,静反冲共混界面结合强度相应增大,而动反冲共混界面结合强度则有明显降低的趋势,较低能量(10keV、20keV)氨离子动态共混界面具有比其它共混界面更理想的膜基结合强度。
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