【摘 要】
：
利用真空阴极弧技术在M2高速钢和单晶硅表面沉积ta-C薄膜,重点研究了电弧电流对沉积过程中等离子体行为,以及涂层的截面形貌、厚度、结构和膜-基结合强度的影响.结果表明,随
【机 构】
：
哈尔滨工业大学,先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150001中车株洲电力机车有限公司,湖南 株洲,412000;
论文部分内容阅读
利用真空阴极弧技术在M2高速钢和单晶硅表面沉积ta-C薄膜,重点研究了电弧电流对沉积过程中等离子体行为,以及涂层的截面形貌、厚度、结构和膜-基结合强度的影响.结果表明,随着电弧电流从40A增加到100A,基体电流由1.36A增加到3.95A,等离子体中Ar离子数目的增加速率高于C离子.随着电弧电流由40A增加到60A,涂层沉积速率基本不变约为6nm/min.在这一过程中,电子对Ar的离化所导致对涂层的轰击溅射效应优于C离子/原子在沉积过程中的传递效应,因此弧流增加而沉积速率基本不变.随着弧流由60A继续增加到100A以后,C离子/原子在沉积过程中的传递效应导致沉积速率提高优于Ar离子的溅射作用,因此沉积速率增加到8.1nm/min.电弧电流为80A时,ID/IG比值最小为0.31,表明涂层具有最高的sp3含量.因此,在Ar气氛下制备ta-C涂层时,要得到较优质的ta-C涂层,需要合适的弧流.制备涂层的膜-基结合强度最高可达HF 1,可进行工业应用.
其他文献
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
在书写纸生产中添加聚乙烯胺,可用短纤木浆(LBKP)和杨木化机浆(APMP)替代8％的长纤木浆(NBKP),并减少助留剂用量和磨浆电耗,显著提高保留率而不影响成纸强度,吨纸综合生产成本
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
日前,广州南沙国际邮轮母港综合体航站楼主体正式封顶.集海景住宅、写字楼、商务平层、免税商城、航站楼、邮轮码头等多元业态于一体的广州南沙国际邮轮母港综合体总建筑面积
主要介绍了原子层沉积技术的历史背景、原理(包括两种自限制的反应机制、前驱体的要求与分类)以及原子层沉积本身作为一种涂层制备技术的特征和优势。重点叙述了近年来原子层
用酸性聚丙烯酰胺凝胶电泳(A-PAGE,pH3.1)研究了4对醇溶蛋白群(Block)和19个组分在杂种后代的遗传特点.用已知醇溶蛋白Block(等位基因)组成的标准品种鉴定了2个亲本Sana和Fra
针对造纸配浆控制工段采用传统PID控制算法难以对浆料流量进行精确控制的问题,采用模糊控制和神经网络相结合的方法对浆料流量进行控制.首先,确定被控量为浆料流量,再根据手
河口村位于义马市东部,310国道北侧,地处黄河流域,属浅山丘陵区.境内有省级森林公园——清风山风景区、义马最大的水库——常窑水库和亚洲第一特大桥——许沟特大桥.辖12个村
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
对北农大高油（BHO）基础群体的不同选择周期C0，C3，C4，C5，C6，C7和C8，采用随机区组设计，于1992和1993两年进行比较试验，分析了含油量等16个品质和农艺性状，研究了这些性状的动态变化以及含