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介绍一种微机精密孔径测量系统的测量原理、数字电容式传感器的工作原理、系统的测量方法和标定方法等。孔径的测量精度优于1μm。
数字式精密孔径测量系统及其传感器
【摘 要】
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介绍一种微机精密孔径测量系统的测量原理、数字电容式传感器的工作原理、系统的测量方法和标定方法等。孔径的测量精度优于1μm。
【机 构】
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湖南长沙国防科技大学802教研室
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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1996年02期
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