论文部分内容阅读
采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下（〈350℃）,以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜（DLC）,以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼（Raman）光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜（AFM）分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜（SEM）观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能。结果表明：在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6nm,其与基体结合力