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纳米压印光刻技术已被证实是纳米尺寸大面积结构复制的最有前途的下一代技术之一。这种速度快、成本低的方法成为生物化学、“级流化学、“μ-TAS和通信器件制造以及纳米尺寸范围内广泛应用的一种日渐重要的方法，如生物医学、纳米流体学、纳米光学应用、数据存储等领域。由于标准光刻系统的波长限制、巨大的开发工作量、以及高昂的工艺和设备成本，纳米压印光刻技术可能成为主流IC产业中一种真正富有竞争性方法。对细小到亚10nm范围内的极小复制结构，纳米压印技术没有物理极限。从几种纳米压印光刻技术中选择两种前景广阔的方法——热压印