【摘 要】
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针对L200+型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方
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针对L200+型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方法和建议。总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项。本文所提出的检漏仪故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义。
In view of the leakage and leak of internal seal structure, inaccurate detection signal, failure of mass spectrometer chamber, non-working of molecular pump and failure of fore pump during L200 + -type helium leak detector, A variety of fault methods and suggestions. Summarized the leak detector in the use of the process should pay special attention to matters. The method and suggestion of the leak detector proposed in this paper have some reference to the leak detector workers.
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