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本文介绍了氧化工艺流程的教学设计,基于集成电路制造3D虚拟车间,整合多元化的信息化要素,优化教学过程,达成教学目标。
基于3D虚拟车间的氧化工艺流程教学设计
【摘 要】
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本文介绍了氧化工艺流程的教学设计,基于集成电路制造3D虚拟车间,整合多元化的信息化要素,优化教学过程,达成教学目标。
【机 构】
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江苏信息职业技术学院
【出 处】
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教育教学论坛
【发表日期】
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2014年51期
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