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用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法制备了磷掺杂氢化非晶硅（a—Si：H）薄膜。分别以50°和70°为入射角，测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱，得到了其膜厚和光学常数谱（折射率和消光系数随波长变化谱），并应用Tauc作图法推算出了薄膜的光学带隙。
用椭偏法研究掺磷a-Si：H薄膜的光学特性
【摘 要】
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用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法制备了磷掺杂氢化非晶硅（a—Si：H）薄膜。分别以50°和70°为入射角，测试了样品在300-1000nm波长的椭偏光谱，得到了其膜厚和光学常数
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子科技大学光电信息学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2007年6期
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