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基于大变形有限元理论和更新的拉格朗日方程式,建立了热耦合的平面应变正交切削有限元仿真模型.采用通用的商业非线性有限元软件,对无氧铜超精密切削加工过程进行了仿真,研究超精密切削过程中切削深度对切削力、残余应力、等效应力、等效应变和切削温度的影响.通过对超精密切削有限元仿真结果的分析,可以优选出合理的切削参数.