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该技术围绕脉冲直流等离子体化学气相沉积(PCVD)成套工业设备研制、PCVD制备硬质薄膜材料以及在工模具表面薄膜材料强化领域的关键应用等进行了系统研究,主要内容及特点如下:
2005年度国家技术发明二等奖复杂型腔工模具表面硬质薄膜材料制备成套设备及关键工艺技术
【摘 要】
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该技术围绕脉冲直流等离子体化学气相沉积(PCVD)成套工业设备研制、PCVD制备硬质薄膜材料以及在工模具表面薄膜材料强化领域的关键应用等进行了系统研究,主要内容及特点如下:
【出 处】
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中国科技奖励
【发表日期】
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2006年9期
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