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采用氢氧化钾乙醇溶液对刻蚀后光刻胶进行了清洗,结果表明,氢氧化钾乙醇溶液能够很好的去除掉刻蚀后的光刻胶,满足生产要求。
氢氧化钾乙醇溶液去除刻蚀后光刻胶
【摘 要】
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采用氢氧化钾乙醇溶液对刻蚀后光刻胶进行了清洗,结果表明,氢氧化钾乙醇溶液能够很好的去除掉刻蚀后的光刻胶,满足生产要求。
【机 构】
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华灿光电股份有限公司
【出 处】
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科技风
【发表日期】
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2013年7期
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