【摘 要】
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市场需求推动着电力电子技术的高速发展,各种新型电力电子器件应运而生,其高功率密度带来的散热问题,直接影响了器件的电特性和可靠性。二维材料石墨烯和六方氮化硼由于特殊
【机 构】
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黄山学院机电工程学院,黄山学院半导体技术与微系统研究所,黄山宝霓二维新材科技有限公司
【基金项目】
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安徽省国际科技合作计划项目(1704e1002208),安徽省高校优秀青年人才支持计划项目(gxyq2017074),黄山市科技计划项目(2017KG-06),黄山学院校级人才启动项目(2017xkjq003),黄山学院校地合作项目(2017XDHZ014).
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市场需求推动着电力电子技术的高速发展,各种新型电力电子器件应运而生,其高功率密度带来的散热问题,直接影响了器件的电特性和可靠性。二维材料石墨烯和六方氮化硼由于特殊的二维结构,在热传导方面具有优异的特性。本文以IGBT器件为例,分别将石墨烯以薄膜形式应用于芯片表面,将六方氮化硼以导热载体形式填充到封装树脂中,在封装结构的横向和纵向同时减小热阻,提出了新一代电力电子器件封装散热的解决方案,并进行了机理分析。进一步介绍了封装过程中石墨烯和六方氮化硼的制备及应用工艺,其工艺过程和产物质量是影响散热效果的关键因素。
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