发光二极管行业MOCVD设备工程设计分析

来源 :建筑技术开发 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiu829
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简述发光二极管行业MOCVD设备构成、安全措施、工程设计方面的要求及对设计规范的理解,对类似工程建设项目提供一定的帮助和参考作用。
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