【摘 要】
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历史上在半导体产业界,战略性投资的重点一直都集中在核心工艺技术或者材料的开发方面。当前核心工艺与材料基本上可以说有3项,即铜/低-k介质组合的连接技术、深亚波长光刻(
【机 构】
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科天国际贸易（上海）有限公司（KLA-Tencor）总经理
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历史上在半导体产业界,战略性投资的重点一直都集中在核心工艺技术或者材料的开发方面。当前核心工艺与材料基本上可以说有3项,即铜/低-k介质组合的连接技术、深亚波长光刻(低于0.13μm)技术和300mm晶圆片的加工生产技术。但是随着技术更新换代的加速,如何成功地掌握新的生产技术,也日益成为重要的课题,因此,其重要性和核心工艺技术与材料几乎不相上下。在这方面的投资也和在核心工艺技术与材料方面的投资具有同等的重要性。产业界正在迅速进入完善生产的新时代,此时新技术的开发应用需要和快速地达到高成品率量产化要求相辅相成地实现。对于后者的投资,将有助于产业界领先的芯片制造企业在推出新一代集成电路(IC)时,能够保证推出的新产品可以最大限度地从市场获得回报。
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