【摘 要】
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基于MATLAB利用Particle-in-cell模型,对梯形管内壁等离子体离子注入过程,进行了二维数值模拟.计算结果表明在中心电极附近出现了＂阳极鞘层＂,该鞘层内部不存在离子,而且在鞘层
【机 构】
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哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（10905013和10975041）资助项目
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基于MATLAB利用Particle-in-cell模型,对梯形管内壁等离子体离子注入过程,进行了二维数值模拟.计算结果表明在中心电极附近出现了＂阳极鞘层＂,该鞘层内部不存在离子,而且在鞘层边缘离子密度最高.在上下管壁上的离子注入剂量呈现＂m＂形分布.通过对注入过程中等离子体密度分布和不同时间段管壁不同位置离子注入剂量的跟踪,发现＂阳极鞘层＂扩展行为是导致＂m＂形分布的原因.由于梯形管形状的不对称性,＂阳极鞘层＂的边缘向梯形长底方向扩展较快.在注入初始时刻离子注入的能量很低,随着时间延长离子能量逐渐升高,
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