【摘 要】
：
基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
【基金项目】
：
国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404090)
论文部分内容阅读
基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电
其他文献
居民物质生活水平提高,对动物照制品需求量和品质提出了更高要求,这也就直接促进了畜牧养殖产业向着集约化、规模化、现代化方向发展。发展肉牛养殖产业,具有广阔的市场前景
蒋介石与希特勒关系论陈红民在中国现代史上，蒋介石和德国的希特勒（Ｈｉｔｌｅｒ）两个人常被联系在一起：蒋介石一意仿效希特勒，要在中国推行法西斯主义。这是写人教科书的不易之论。那么，历史上
在幼儿园的教育与教学过程之中,教授幼儿最基本的自我保护能力就显得尤为重要。正如俗话所说的"授人以鱼,不如授人以渔",培养幼儿的自我保护能力可以在根本上尽量降低幼儿受
产品结构重组是实施计算机集成产品工程的技术基础，产品的标准化与规范化技术是产品结构重组的重要内容。介绍了产品标准化与规范化的内容及工作步骤。
在分析我国模具企业物料管理特点的基础上,结合自主开发的模具企业管理系统———e Man在多家模具企业成功应用的经验,介绍了系统中物料管理模块在模具企业中的设计、采购、