【摘 要】
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针对非接触式电容测微技术的应用问题,介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术,给出了仪器的主要结构,对仪器电路进行了模块化设计,研究分析了实际测量过程
【机 构】
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天津大学内燃机燃烧学国家重点实验室天津,天津大学内燃机燃烧学国家重点实验室天津,中国人民解放军军事交通学院天津,天津大学精密仪器与光电子工程学院天津
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针对非接触式电容测微技术的应用问题,介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术,给出了仪器的主要结构,对仪器电路进行了模块化设计,研究分析了实际测量过程中不可避免的各种误差,并提出了相应的消除或修正方法.研究结果表明,探头的有效直径为1 mm时,仪器的分辨率可达1 nm,测量范围为±5 μm.探头的有效直径为9 mm时,分辨率可降到0.1 μm,测量范围可扩大到±1 mm,动态频响0～4 kHz.
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