【摘 要】
：
测试了各种工艺条件下真空电弧沉积(VAD)的TiN薄膜的显微硬度,并研究了TiN薄膜硬度随基材、电弧电流、基片温度、氮气压力及负偏压的变化.实验结果表明:在多数基材上,薄膜硬
论文部分内容阅读
测试了各种工艺条件下真空电弧沉积(VAD)的TiN薄膜的显微硬度,并研究了TiN薄膜硬度随基材、电弧电流、基片温度、氮气压力及负偏压的变化.实验结果表明:在多数基材上,薄膜硬度均接近或超过20 GPa,且薄膜的硬度与基材的硬度不呈比例关系,TiN薄膜的硬度随电流的增加有减少的趋势;在相当宽的温区内,TiN薄膜的硬度随温度上升而增大,而且在高温下的硬度值比低温时稳定,总体上,VAD比其它离子镀具有更宽阔的T区;在氮气压力为0.1 Pa～1 Pa的区域内,TiN薄膜的硬度稳定在20 MPa以上,而且适当的负偏
其他文献
应用电流变液(以下简称ERF)制备了一套模拟无级调速传输系统,通过改变传输系统界面设计,即通过调整剪切绝缘条与筒壁轴向的夹角,在相同结构及尺寸的传输系统上,可以实现对ERF
采用线性化方法推导了预载情况下Stewart平台的刚度矩阵和阻尼矩阵,建立了Stewart平台的非比例阻尼自由振动方程,针对系统的非比例阻尼条件,采用复模态分析的方法求解了该方
提出了以四自由度空间并联机构作为主进给机构,辅以双向移动工作台实现多坐标数控加工的一种新型并联机床的配置方案.推导了并联机床位置、速度逆解模型,设计了面向该并联机
对粉末冶金温压加热系统的结构进行了研究.加热系统采用加热嚣和恒温器两级加热,发热元件为电阻式加热管.粉末在加热器和恒温嚣中的流动形式为质量流.依据傅立叶热传导公式,
本文主要从社会语言学的角度出发,浅谈社会语言学对大学英语教学的启示:大学英语教学应当注重培养学习者言语交际能力;应当注重培养学习者主观情感因素;应当注重文化知识的导
艺术设计类大学生职业技能培养日益成为人们关注的重要问题。文章从当前艺术设计类大学生职业技能培养存在的问题入手，论述了艺术设计类学生职业技能培养的原则和措施。
通过单向拉伸试验 ,从宏观角度研究了三维编织复合材料的力学行为。研究选用了两种增强纤维、两种编织角、两种纤维体积含量等不同工艺参数所组成的 16组试样 ,进行力学性能