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本文介绍了线阵CCD测量系统的组成,利用线阵CCD对衍射光强分布进行了测量。本文中采用数据处理软件Origin对测量结果中的噪声进行了处理,同时拣出极大值和极小值位置。与用螺旋测微器测量的数据结果相比相对误差为4%。文中分析了影响测量结果的三个主要因素,结果表明,在没有外界光线干扰的环境下,CCD所得到数据结果能够达到很高的测量精度。