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液氮冷却硅晶体单色器是一个流固耦合传热系统，涉及固体部件之间的传热和计算流体力学（CFD）问题。硅晶体和无氧铜之间发生热传导，无氧铜和液氮之间进行对流换热。确定上述流固耦合传热系统的内部边界条件成为该系统研究的难点。因此，采用热流固三场耦合分析方法将液氮一无氧铜一硅晶体作为一个整体进行研究，计算时只定义系统的外部边界条件。该冷却结构设计考虑了硅晶体和无氧铜之间的接触热阻和液氮在冷却通道内的流动，因而模拟结果与实际状况更加接近，且此液氮间接冷却硅晶体单色器结构能够承受870W的热负荷将用于北京先进光源。