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玻璃基片的表面清洁程度对镀膜十分重要,作者采用线性离子源在线清洗技术,对玻璃基片进行清洗处理。对比线性离子源清洗与传统超声清洗技术的清洗效果,分析离子源对玻璃基片的作用深度,以及对玻璃基片表面粗糙度与成分的改变。结果表明,线性离子源清洗能有效降低玻璃基片的缺陷密度、表面粗糙度及表面碳污染,有利于提高后续镀膜的质量"