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本文介绍了一种不改变配方前提下分区域精确调控光刻胶形貌的方法,并通过理论分析调整原理,结合实验通过调整涂胶过程中晶圆上方供风状态,研究可控不均匀供风其对成膜过程的影响,总结了快速获得所需形貌的工艺方法。
分区域精确调控光刻胶成膜形貌方法研究
【摘 要】
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本文介绍了一种不改变配方前提下分区域精确调控光刻胶形貌的方法,并通过理论分析调整原理,结合实验通过调整涂胶过程中晶圆上方供风状态,研究可控不均匀供风其对成膜过程的影响,总结了快速获得所需形貌的工艺方法。
【机 构】
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
【出 处】
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科学技术创新
【发表日期】
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2021年12期
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