激光束用于加工过程精度自动检测

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本文阐述了利用激光作为检测传感的对工件外径几何尺寸精度进行非接触式测量的机——电——光一体化的“在线检测装置”的研究.由于采用了新的检测原理,实现了大尺寸范围的工件外径测量,测量分辩率极高(可达微米级).本文就有关原理和实验装置作了必要的论述,并给出了实验结果.
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