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对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,NSR2205I14E2型光刻机的对准方式包括LSA和FIA,分析LSA与FIA的对准方式原理,比较各自的硬件结构以及对应功能。了解这些知识将对设备维护、降低对准报错率,提高套刻精度等有着重要帮助。
NSR2205I14型光刻机对准方式分析
【摘 要】
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对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,NSR2205I14E2型光刻机的对准方式包括LSA和FIA,分析LSA与FIA的对准方式原理,比较各自的硬件结构以及对应功能。了解这些知识将对设备维
【机 构】
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新型功率半导体器件国家重点实验室
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2018年11期
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