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较详细地阐明了电子背散射衍射技术(EBSD)的基本原理、实验分析方法。通过安装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统,可以对块状样品进行材料微区范围内取向与结构的快速分析,使显微组织、微区成分与结晶学数据分析联系起来,电子背散射衍射技术成为现代材料科学研究的重要实验技术。
电子背散射衍射技术及其在材料分析中的应用
【摘 要】
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较详细地阐明了电子背散射衍射技术(EBSD)的基本原理、实验分析方法。通过安装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统,可以对块状样品进行材料微区范围内取向与结构
【机 构】
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华中科技大学分析测试中心
【出 处】
：
理化检验(物理分册)
【发表日期】
：
2006年06期
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