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中芯国际近日宣布，公司正式进入28nm工艺时代。公司表示，启动28nm新工艺后，公司将可为全球集成电路设计商提供包含28nm多晶硅（Poly—SiON）和28nm高介电常数金属栅（HKMG）在内的多项目晶圆（MPW）服务。
中芯国际启动28nm新工艺
【摘 要】
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中芯国际近日宣布，公司正式进入28nm工艺时代。公司表示，启动28nm新工艺后，公司将可为全球集成电路设计商提供包含28nm多晶硅（Poly—SiON）和28nm高介电常数金属栅（HKMG）在内的多项目
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2014年3期
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