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期刊论文
PZT铁电薄膜的掺杂改性
PZT铁电薄膜的掺杂改性
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pipi783
【摘 要】
:
用溶胶-凝胶方法制备了掺高价高于钇及过量Pb的PZT铁电薄膜,探讨了添加剂对PZT铁电薄膜的结构和电特性的影响,实验表明,过量r(Pb)6%或掺高价离子r(Y)3%能较大地改善PZT铁电薄膜的电性能。
【作 者】
:
王培英
余大年
【机 构】
:
华中理工大学固体电子学系
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
溶胶-凝胶
掺杂
疲劳
PZT铁电薄膜
铁电材料
SolGel
doping
fatigue
PZT
【基金项目】
:
国家863科研项目
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用溶胶-凝胶方法制备了掺高价高于钇及过量Pb的PZT铁电薄膜,探讨了添加剂对PZT铁电薄膜的结构和电特性的影响,实验表明,过量r(Pb)6%或掺高价离子r(Y)3%能较大地改善PZT铁电薄膜的电性能。
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