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采用有限元方法,利用大型 CAE数值分析软件 ANSYS对某真空镀膜系统的镀膜室建立更符合工程实际的立体模型进行计算,分析出在工作状态下,该真空系统镀膜室的密封面的变形分布,为产品的研制设计提供了详实、可靠的理论依据.
铝合金真空镀膜室超大开口密封面变形有限元分析
【摘 要】
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采用有限元方法,利用大型 CAE数值分析软件 ANSYS对某真空镀膜系统的镀膜室建立更符合工程实际的立体模型进行计算,分析出在工作状态下,该真空系统镀膜室的密封面的变形分布,
【机 构】
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武汉理工大学交通学院,深圳威士达真空系统工程公司
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2003年2期
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