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本文介绍了一种平面旁热式甲烷气敏元件的研制.它是利用高频溅射仪在硅片上制作出加热电阻.在它的气敏材料中,通过添加多种物质来降阻,从而使元件工作温度易于达到甲烷气体的敏感温度区域.并讨论了不同加热电压对灵敏度的影响.
研制平面旁热式甲烷气敏元件
【摘 要】
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本文介绍了一种平面旁热式甲烷气敏元件的研制.它是利用高频溅射仪在硅片上制作出加热电阻.在它的气敏材料中,通过添加多种物质来降阻,从而使元件工作温度易于达到甲烷气体的
【机 构】
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沈阳工业大学561#,沈阳工业大学561#110023,110023
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2001年10期
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