基于虚拟科氏力相位特性的硅MEMS陀螺自动模态匹配及闭环检测

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介绍了一种基于虚拟科氏力相位特性的自动模态匹配方法,该方法能提高开环检测时陀螺的标度因子、降低其零偏不稳定性。同时,为了增大模态匹配时的可检测输入角速度范围,采用力平衡反馈闭环,将科氏输出位移控制在一个幅度较小且稳定的振动状态。通过Simulink模型进行仿真,并在基于FPGA的数字控制电路中对本课题组的十六边型盘式谐振陀螺(cobweb-like DRG)进行实验。实验结果表明,使用该方法实现模态匹配后,开环检测时,陀螺的标度因子和零偏不稳定性分别从未匹配状态下的13 mV/[(°)·
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