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期刊论文
Si局域分子束外延技术
Si局域分子束外延技术
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z325z0
【摘 要】
:
利用局域分子束外延技术生长了含有SiGe量子阱的岛状结构2,实现了生长的岛状结构 面不与掩模材料相接触。这种含有量子际的岛状结构具有比相同结构量子阱强20多倍的光致发光强度。
【作 者】
:
朱海军
蒋最敏
【机 构】
:
复旦大学应用物理国家重点实验室
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
局域分子束外延
光致发光强度
掩模
Local molecular beam epitaxy
Photolumienscence
Mask
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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利用局域分子束外延技术生长了含有SiGe量子阱的岛状结构2,实现了生长的岛状结构 面不与掩模材料相接触。这种含有量子际的岛状结构具有比相同结构量子阱强20多倍的光致发光强度。
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