非λ/4-非λ/4 SiO2/TiO2双层增透膜的设计与制备

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通过TFCalc膜层设计软件设计了非λ/4-非λ/4双层增透膜体系.与λ/4-λ/4双层增透膜体系相比,非λ/4-非λ/4双层增透膜体系中内外层薄膜的折射率仅需满足n1≥n2(ns/n0)^1/2(其中n1、n2、ns、n0分别为内层膜、外层膜、基片和空气的折射率),即可通过调节内外层薄膜的厚度实现特定波长处的100%透过,扩展了膜层材料的选择范围.以酸催化TiO2薄膜和SiO2薄膜分别作为内、外层膜层材料,采用溶胶-凝胶浸渍-提拉法依次将TiO2溶胶和SiO2溶胶沉积在K9玻璃基片表面,最终形成SiO2
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