【摘 要】
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也许你见过如何检测大型桥梁,也许你也见过如何检测和调试汽车,但是,你可曾见过对微电子机械产品的力学性能进行检测?面对那些比头发丝大不了多少的微米级高科技机电产品如
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也许你见过如何检测大型桥梁,也许你也见过如何检测和调试汽车,但是,你可曾见过对微电子机械产品的力学性能进行检测?面对那些比头发丝大不了多少的微米级高科技机电产品如何进行检测、调试呢?那可是连用手指头拿都拿不住的微电子机械系统啊！笔者要介绍的
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