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产品特点：1．离子束溅射清洗（IBSC）衬底；2．离子束终极抛光（IBP）；衬底3．离子柬溅射沉积（IBSD）薄膜；
产品名称：双离子溅射沉积镀膜机
【摘 要】
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产品特点：1．离子束溅射清洗（IBSC）衬底；2．离子束终极抛光（IBP）；衬底3．离子柬溅射沉积（IBSD）薄膜；
【出 处】
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中国材料科技与设备
【发表日期】
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2012年2期
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