【摘 要】
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设计并制作了用于测量波长大于150μm（频率低于2THz）的太赫兹波波长的金属网栅法布里-珀罗干涉仪（FPI）。采用光电子微纳制造工艺制作了五组周期不大于40μm，线宽不大于10μm的有衬
【机 构】
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华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室
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设计并制作了用于测量波长大于150μm（频率低于2THz）的太赫兹波波长的金属网栅法布里-珀罗干涉仪（FPI）。采用光电子微纳制造工艺制作了五组周期不大于40μm，线宽不大于10μm的有衬底方形金属网栅，利用太赫兹时域光谱技术测量了金属网栅的太赫兹波段光电特性，得到了各组金属网栅在感兴趣频段的反射率和金属网栅FPI的反射精细度，结果表明所制作的金属网栅FPI均可用于测量波长大于150μm的太赫兹波。实验搭建金属网栅FPI扫描测量了212μm的太赫兹波波长，与理论结果吻合。研究了金属网栅FPI对太赫兹波偏振
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