【摘 要】
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提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合
【机 构】
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长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室; 中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电中心;
【基金项目】
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国家自然科学基金(61605208,61475199);重庆市重点产业共性关键技术创新专项项目(2015zdcy-ztzx70006)
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提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法,该方法利用紫外增强PIN光电二极管,同时快速测量曝光机照面多点的光强,通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进,同时使用复合放大的方法,大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性,使每一测量单点测量重复性控制在0.02mW/cm2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验,结果表明,多点测量一致性小于0.1mW/cm2,且检测的照度均匀性符合要求。
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