【摘 要】
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通过棱镜耦合激发非对称金属包覆介质波导结构中的TE_0导波模式,利用两束TE_0模的干涉从理论上实现了周期可调的亚波长光栅刻写.分析了TE_0模式的色散关系,刻写亚波长光栅的
【机 构】
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兰州理工大学理学院,巢湖学院机械与电子工程学院
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通过棱镜耦合激发非对称金属包覆介质波导结构中的TE_0导波模式,利用两束TE_0模的干涉从理论上实现了周期可调的亚波长光栅刻写.分析了TE_0模式的色散关系,刻写亚波长光栅的周期与激发光源、棱镜折射率、光刻胶薄膜厚度及折射率之间的关系.用有限元方法数值模拟了金属薄膜、光刻胶薄膜和空气多层结构中TE_0导模的干涉场分布.研究发现,激发光源波长越短,TE_0模干涉刻写的亚波长光栅周期越小;光刻胶越厚,刻写的亚波长光栅周期越小;高折射率光刻胶有利于更小周期亚波长光栅的刻写.相较于表面等离子体干涉光刻,基于TE_
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