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某硅晶片洁净厂房的湿度控制方案
某硅晶片洁净厂房的湿度控制方案
来源 :洁净与空调技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wang5632968
【摘 要】
:
散湿量相对较大, 房间露点温度要求相对较低且湿度要求相对较严格的洁净房间, 可以采用 MAU+FFU+DCC+RDU(转轮除湿机组)的洁净空调方式,部分新风进行转轮除湿处理,以满足个别
【作 者】
:
刘闯
武琳
【机 构】
:
世源科技工程有限公司
【出 处】
:
洁净与空调技术
【发表日期】
:
2019年1期
【关键词】
:
湿度
散湿量
转轮除湿
洁净房间
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散湿量相对较大, 房间露点温度要求相对较低且湿度要求相对较严格的洁净房间, 可以采用 MAU+FFU+DCC+RDU(转轮除湿机组)的洁净空调方式,部分新风进行转轮除湿处理,以满足个别洁净房间的湿度要求.
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