【摘 要】
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Ｔｉ－Ｂ－Ｎ超硬薄膜结构的能量过滤电子衍射分析王永瑞李戈杨＊王公耀＊王纪文李鹏兴＊（上海交通大学材料科学系，＊金属基复合材料国家重点实验室，上海２０００３０）超硬膜是指硬度远高于钢铁且牢固地镀在工模具
【机 构】
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上海交通大学材料科学系,金属基复合材料国家重点实验室
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Ｔｉ－Ｂ－Ｎ超硬薄膜结构的能量过滤电子衍射分析王永瑞李戈杨＊王公耀＊王纪文李鹏兴＊（上海交通大学材料科学系，＊金属基复合材料国家重点实验室，上海２０００３０）超硬膜是指硬度远高于钢铁且牢固地镀在工模具上能明显地提高耐磨性的膜，如ＴｉＮ、ＴｉＣ、ｃ－Ｂ...
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