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针对半导体晶圆制造系统调度的时变多目标特性,提出基于AHP和规则的多目标派工方法,在不同时期,赋予各调度目标不同的权重,通过仿真实验得到判断矩阵,然后用层次分析法来选择各设备的派工规则,并进行了敏感性分析,为半导体晶圆制造系统的科学管理提供了有效的实现途径。
基于AHP和规则的多目标晶圆制造派工方法的应用
【摘 要】
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针对半导体晶圆制造系统调度的时变多目标特性,提出基于AHP和规则的多目标派工方法,在不同时期,赋予各调度目标不同的权重,通过仿真实验得到判断矩阵,然后用层次分析法来选择
【机 构】
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上海先进半导体制造股份有限公司,上海交通大学机械与动力工程学院
【出 处】
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工业工程与管理
【发表日期】
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2011年4期
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