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溅射方法制备的非晶Fe68Cu0.5Cr4V5Si13.5B9薄膜,通过适宜的退火处理得到具有纳米晶α-Fe(Si)和非晶母相的混合结构和最佳的软磁性能,相应的巨磁阻抗值GMI最高可达72﹪.本文着重研究了热处理条件对Fe68Cu0.5Cr4V5Si13.5B9薄膜磁致阻抗的影响规律,并结合其内部组织结构,纳米微晶尺寸,软磁性能探索了巨磁阻抗效应产生的机理.