磁控溅射氮分压对Nb-Si-N薄膜结构和性能的影响

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangxfg

【摘要】

：

用反应磁控溅射法在不同的氮分压下沉积了Nb-Si-N薄膜.结果表明：Nb-Si-N膜的成分、结构和性能随氮分压的改变而不同.随氮分压的增加,Nb-Si-N膜的Nb/Si比和表面粗糙度减小;薄膜

【作者】

：

王剑锋宋忠孝徐可为范多旺

【机构】

：

西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室,兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年6期

【关键词】

：

磁控溅射 Nb-Si-N 氮分压结构 magnetron sputtering Nb-Si-N N2 partial pressure microstr

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划“973”项目（004CB619302）,国家自然科学基金（NSFC）（50471035）,光电技术与智能控制教育部重点实验室（兰州交通大学）开放基金资助项目（K040119）

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用反应磁控溅射法在不同的氮分压下沉积了Nb-Si-N薄膜.结果表明：Nb-Si-N膜的成分、结构和性能随氮分压的改变而不同.随氮分压的增加,Nb-Si-N膜的Nb/Si比和表面粗糙度减小;薄膜的电阻值和微硬度增加.Nb-Si-N膜的结构为纳米晶NbN与类似Si3N4非晶相组成的纳米复合结构,且随着氮分压的增加,Nb-Si-N膜的非晶倾向增强,晶粒尺寸减小.

其他文献

La0．75Sr0．25Cr0．5Mn0．5O3粉末的溶胶-凝胶法制备及其NO2气敏性能研究

以La2O3、Cr（NO3）3·9H2O、Sr（NO3）2、Mn（NO3）2和柠檬酸为原料，用溶胶-凝胶法制备了La0.75Sr0.25Cr0．5Mn0.5O3粉体。使用DTA、XRD、SEM、FT-IR等对粉体及中间体进行了表征。结果

期刊

溶胶-凝胶气体传感器NO2sol-gel gas sensor NO2

ANTISENSE RNA OF SURVIVIN ENHANCES THE SENSITIVITY OF PANCREATIC CANCER CELL LINE PANC-1TO DOXORUBIC

这篇论文试图讨论熬过反的效果的目的在胰腺的癌症房间线 PANC-1 在导致 doxorubicin 的 apoptosis 上察觉到 RNA。方法 A 幸存反察觉到在以前的学习准备的真核细胞的向量 pc

期刊

胰腺癌阿霉素肿瘤细胞病理机制SurvivinPancreatic cancerAntisense RNADoxorubicin

氧化锌纳米线束合成及发光性质的研究

利用水合醋酸锌粉作为锌源，十二烷基苯磺酸钠（DBS）作表面活性剂，通过改进的微乳液法，在较低温度下制备出形貌均一的ZnO纳米线束。对样品进行了XRD图谱、扫描电镜（TEM）、透射电镜（SEM）

期刊

氧化锌微乳液法纳米线ZnO microemulsion nanowires

EXPRESSION OF EPIDERMAL GROWTH FACTOR RECEPTOR IN DIFFERENT SALIVARY ADENOID CYSTIC CARCINOMA CELL L

Objective: To investigate the expression of epidermal growth factor receptor, a receptor tyrosine protein kinase, in the subcellular fractions of human salivary

期刊

基因表达表皮生长因子受体唾液腺膀胱癌肿瘤细胞Salivary adenoid cystic carcinoma Epidermal growth f

放电等离子烧结钛酸锶钡陶瓷的显微结构和介电性能

采用放电等离子烧结（Spark Plasma Sintering，SPS）技术制备了致密的钛酸锶钡（BSTO）陶瓷材料，分析了其致密化过程和烧结陶瓷试样的微观结构，测试了烧结体的介电和铁电性能。结果表明，S

期刊

钛酸锶钡放电等离子烧结显微结构介电性能barium strontium titanate spark plasma sintering micros

机械合金化制备Ti3AlC2陶瓷材料的研究

采用Ti，Al和C元素粉末为反应物原料，通过机械合金化法成功地制备出高含量三元碳化合物Ti3AlC2陶瓷粉体。按Ti3AlC2化学计量比为起始反应原料配比（Ti：Al：C=3：1：2）的元素混合粉末，经3h的

期刊

机械合金化TI3ALC2三元碳化合物mechanical alloying Ti3AlC2 ternary carbide

ZrW2O8粉体及ZrW2O8／PI杂化薄膜的制备研究

以分步固相法制备了ZrW2O8粉体，以旋涂法制备出ZrW2O8／聚酰亚胺（PI）杂化薄膜，采用X射线衍射（XRD）对所得粉体的结构及性能进行表征，以傅里叶红外光谱（FT-IR）、热重-差热分析（TG-DSC）和扫描

期刊

ZrW2O8粉体ZrW2O8/聚酰亚胺(PI)杂化薄膜热稳定性分散性ZrW2O8 powders ZrW2O8/polyimide （PI） hybr

EXPRESSION OF NITROREDUCTASE GENE NOR1 IN E.Coli AND THE PREPARATION OF ANTISERUM

Objective: To express nitroreductase gene NOR1 in Escherichia coli and to purify the expressed protein in order to get the polyclonal antibody of NOR1. Methods:

期刊

硝基还原酶NOR1基因?A硝基还原酶NOR1大肠杆菌鼻咽癌抗肿瘤血清免疫疗法Nasopharyngeal carcinoma Gene expr

一种锆基大块非晶在退火后的室温压缩变形

处于不同弛豫状态的Zr64.13Cu15.75Ni10.12Al10大块非晶的热力学参数（Tg,Tx,andΔTx=Tx-Tg）通过差示扫描量热仪（DSC）进行了测量,结果显示处于不同弛豫状态的Zr64.13Cu15.75Ni10.1

期刊

金属玻璃机械性能剪切带metallic glasses mechanical properties shear bands

半导体硫化银纳米管的制备与光学性能

在以Triton X-100为表面活性剂形成的反相胶束体系中,成功地制备了半导体硫化银纳米管,管径88 nm～120nm、长度大于2.6 μm.X射线衍射测定表明,产物为纯单斜结构.紫外-可见光谱

期刊

反相胶束法纳米管硫化银reverse micelles nanotubes Ag2S

磁控溅射氮分压对Nb-Si-N薄膜结构和性能的影响

与本文相关的学术论文