【摘 要】
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该仪器系用不同波长的两条光束,测量基片上薄膜的光学厚度。这两条光束被斩波成一系列的时间变换脉冲,经过薄膜和基片并被检波以提供电脉冲输出。之后,脉冲相减,其差被平均。
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该仪器系用不同波长的两条光束,测量基片上薄膜的光学厚度。这两条光束被斩波成一系列的时间变换脉冲,经过薄膜和基片并被检波以提供电脉冲输出。之后,脉冲相减,其差被平均。光学薄膜的厚度如果是两条光束的平均波长的1/4波长的整倍数,则平均为零。
The instrument uses two beams of different wavelengths to measure the optical thickness of the film on the substrate. The two beams are chopped into a series of time-varying pulses, passed through the film and the substrate, and detected to provide electrical pulse output. After that, the pulses are subtracted and the difference is averaged. If the thickness of the optical film is an integral multiple of 1/4 wavelength of the average wavelength of the two light beams, the average is zero.
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