扩散和清洗的发展方向——国产半导体设备探讨

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuan002003

【摘要】

：

<正>近年来,我国集成电路产业发展速度举世瞩目,并呈现稳定增长势头。椐一家美国集成电路行业调查公司IC Insights发布的调查报告显示:中国将在今年成为最大的集成电路市场。

【作者】

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盛金龙刘效祯

【机构】

：

北京七星华创电子股份有限公司

【出处】

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半导体技术

【发表日期】

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2006年02期

【关键词】

：

半导体设备集成电路生产线集成电路产业

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<正>近年来,我国集成电路产业发展速度举世瞩目,并呈现稳定增长势头。椐一家美国集成电路行业调查公司IC Insights发布的调查报告显示:中国将在今年成为最大的集成电路市场。今年市场总额为343亿美元,到2010年中国集成电路市场总额将达 950亿美元。半导体专用装备制造业是支撑半导体和集成电路产业健康发展的基础。半导体专用装备本身也是

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