【摘 要】
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在信息产业不少基础产品的制造过程中 ,需使用多种溅射靶材 ,本文简介溅射靶材的制造及主要应用情况。
In the manufacture of many basic products in the information ind
【机 构】
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电子科技大学!四川成都610054,电子科技大学!四川成都610054
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在信息产业不少基础产品的制造过程中 ,需使用多种溅射靶材 ,本文简介溅射靶材的制造及主要应用情况。
In the manufacture of many basic products in the information industry, a variety of sputtering targets are used. This article describes the manufacture of sputtering targets and their main applications.
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